Lekwasị anya na ụlọ ọrụ gas pụrụ iche

Igwe ọkụ eletrik gụnyere gas pụrụ iche eletrọnịkị na nnukwu gas eletrọnịkị.Ha bụ ihe dị mkpa na ihe ndị bụ isi na usoro mmepụta nke sekit jikọtara ọnụ, ihe ngosi ngosi, ọkụ ọkụ semiconductor, fotovoltaics na ụlọ ọrụ ndị ọzọ.Gasị ọpụrụiche elektrọnik bụ ihe nkwado dị mkpa maka nrụpụta sekit jikọtara ọnụ.A na-eji ha eme ihe na fotolithography, etching, nhazi ihe nkiri, nhicha, doping, ntinye na njikọ usoro ndị ọzọ.Ha nwere ihe dị elu chọrọ maka ịdị ọcha, nkwụsi ike, nkwakọ ngwaahịa, wdg, nke a maara dị ka "nri" na "ọbara" nke ụlọ ọrụ semiconductor.Nrụpụta sekit jikọtara ọnụ na-agụnye ọtụtụ puku usoro, nke dị oke mgbagwoju anya ma chọọ iji ọtụtụ narị gas pụrụ iche eletrọnịkị.N'ime mmepụta sekit agbakwunyere, enwere ike kewaa gas eletrik n'ime gas doping, gas implantation gas, ihicha gas, etching gas na photolithography gas dị ka usoro dị iche iche si dị;A na-eji gas eletrik eme ihe n'ọtụtụ ebe ma nwee nnukwu teknụzụ chọrọ.Isi mmalite na sistemu ọkọnọ ha nwere ihe achọrọ.Ịdị ọcha gas bụ isi ihe dị na ngwaahịa gas pụrụ iche, nke chọrọ ultrapure na ultraclean.Ultrapure chọrọ ịdị ọcha gas iji ruo 4.5N, 5N ma ọ bụ ọbụna 6N ma ọ bụ 7N.Oge ọ bụla ịdị ọcha na-abawanye site na otu N na oge ọ bụla itinye uche nke irighiri ihe na ihe ndị na-adịghị ọcha ígwè na-ebelata site n'otu usoro dị ukwuu, ịdị ọcha gas ga-abawanye site n'otu usoro nke ịdị ukwuu.Na-eweta ọganihu dị ukwuu na mgbagwoju anya na ihe isi ike.Maka agwakọta gas, izi ezi nke oke bụ isi ihe.Ka akụrụngwa ngwaahịa na-abawanye na nkwadebe ziri ezi na-abawanye, a na-achọkarị ndị na-eweta gas ka ha rụọ ọrụ ziri ezi na akụrụngwa gas nwere ppm dị iche iche ma ọ bụ ọbụlagodi ọkwa ọkwa ppb.